臭氧滅菌烘箱專為干燥熱敏性、易分解和易氧化物質而設計，能夠向內部充入惰性氣體，特別是一些成分復雜的物品也能進行快速干燥。

　　臭氧滅菌烘箱因為是由電力提供熱能，而濕的物品是會導電的，故在使用上宜小心不要有漏電的現象發生，故一般干燥箱都要接地使用，以保安全。若沒有地線也要確認烘箱沒有漏電的現象;若有輕微的漏電現象，可試著將插座拔起后將插腳以相反方向再插入，若沒有漏電現象可小心使用，若仍有漏電現象則應立即停用。

　　但是在八十度以上時，水的蒸氣壓即相當大，足可令濕的器皿很快的烘干。而且，即使在做定量分析的實驗中，所有烘干的器皿也都要在室溫的情形下使用，故溫度太高的器皿要恢復到室溫所需的時間也會拉長;因此電烤箱的使用溫度不必一定要設定在水的沸點之上。干燥箱也可用來干燥化學藥品之用，此時若是要排除吸附在化合物表面上的小分子，則干燥箱的溫度就必須設定在攝氏一百二十度以上加熱兩小時，才足以使水分子驅走，如此才可測得該物的真正重量。

　　臭氧滅菌烘箱的保養方法：

　　日常保養：

　　1、打掃表面及內腔灰塵，保持機器干凈、衛生。

　　2、檢查電流表電流跟正常時是否一樣，如有異樣，通知維修工檢修。

　　3、突然停電，要把加熱開關關閉，防止來電時自動啟動。

　　4、檢查風機運轉是否正常，有無異常聲音，如有立即關閉機器并通知維修工檢修。

　　月保養：

　　1、檢查通風口是否堵塞，并清理積塵。

　　2、風機運轉是否正常。

　　3、維修工檢查電流是否正常。

　　4、檢查溫控器是否準確，如不準確，請調整溫控器的靜態補償或傳感器修正值。

　　5、檢查發熱管有無損壞，線路是否老化。

　　6、檢查延時器是否準確，誤差是否允許。